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包括中頻電源、補償電容箱及熔煉爐等。根據不同的應用要求，還可能包括紅外測溫儀，控溫儀等裝置；熔煉爐分為三種：翻倒式熔煉爐、頂出式熔煉爐和固定式熔煉爐。翻倒式熔煉爐按照翻倒方式可分為機械式翻倒爐、電動式翻倒爐和液壓式翻倒爐。

真空燒結爐主要用于半導體元器件及電力整流器件的燒結工藝，可進行真空燒結，氣體保護燒結及常規燒結。是半導體專用設備系列中一種新穎的工藝裝備，它設計構思新穎，操作方便，結構緊湊，在一臺設備上可完成多個工藝流程。亦可用于其他領域內的真空熱處理，真空釬焊等工藝。設備分為單工位、雙工位及多工位。